一、产品简介 
    RCL-66系列小口径气体质量流量计，主要用于对微小气体的流量精密测量。以小口径区别于传统的热式气体质量流量计,RCL-58系列具有量程比宽，响应时间短，压力损耗小，使用方便，价格便宜等特点。RCL-66气体质量流量计在真空镀膜 、材料科学 、微电子工业、石油 化工、医药、环保和科学研究等领域中有着重要的应用。 

二、原理 
    气体质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻（铂 RTD），一个是速度传感器,一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。气体流速增加，介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定，则必须增加通过传感器的工作电流，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。

二、技术参数

·可测介质： 不含水且成分稳定的气体 

·介质温度：-20～55℃

·承压范围：0.2MPa(高压可以定制）

·量程范围：0-20ml、0-50ml、0-200ml、0-1000ml、0-100l、0-150l、0-250l、0-300l 每分钟

·精    度： 1.5、2.0级

·重 复 性：0.2%